歷史文章列表

• 2015-03-08 20:40

  ESC & Arcing

  吸附wafer有分成兩種形式 1.機械式 2.靜電式 ESC: electrostatic chuck (靜電吸附),改善機械式在clamp 動作造成異常破片,機械式clamp時wafer會有Bending,而均勻度不佳,所以靜電式不會有bending問題,故均勻度會優於機械式 Arcing :尖端放電,整個chamber為絕緣狀態,蝕刻過程屬於高電壓,高電流,所以小地方有絕緣不佳的話,就會有arcing現象

• 2014-12-02 13:22

  K-MAX

  K-MAX 建泓科技實業股份有限公司從事半導體設備開發設計改造、製造、銷售、各種材料加工、表面處理、黏合、評估測試服務...等。含石墨、金屬加工、Electric Chuck，ESC，靜電盤，上電極下電極，K-max 建泓科技半導體光電零組件  

• 2014-12-02 13:21

  事業群

  光電半導體設備零件進出口貿易，自動控制設備，高科技廠房機械安裝等。 見證台灣經濟起飛，邁向更完美里程 專注品質，創新技術，資源整合，領先服務