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自動控制相關業,建泓科技實業股份有限公司創立於民國1965年,主要從事光電及半導體設備零組件相關行業;擁有為數不少的客戶群。 本公司擁有優秀的經營團隊,秉持著『客戶至上幸福企業』的經營理念,追求企業永續經營及成長;除整體營運穩定外,獲利狀況也逐年提昇,是國內績優廠商之一 。
半導體新式靜電盤(視客戶應用設計),各式靜電盤維修(JR/庫倫陶瓷靜電盤、陽極靜電盤、PI靜電盤),可解決baskside Helium Leakage、Current Leakage、chamber Leakage
協助客戶改善製程及設備問題,ESC改造案例
蝕刻率(Etchiing Rate),蝕刻均勻性(Uniformity)改善;熱傳導(Thermal Conductivity),WAT電性改善;生成物堆積晶圓吸附力不佳(Polymer accumulation lead to Wafer Edge elium LeakageESC eage Arcing)
光電產業應用:
ESC Total Solution:
ESC客製化設計與製造/Power supply 高壓接典 接線設計 真空Feed through
客戶製程問題改善 Total Pitch 改善方案 耐刮傷解決方案 吸附力改善方案 多迴路設計
Ceall ODF 段機台改造:薄板0.5mm改為0.25mm玻璃製程及真空吸著孔 改善對組精度及基板平整度